基于硅基-氧化鋅功能性薄膜結構的光電位置傳感器是由中心自主開發(fā)(ZLCN201410614869.5等)的產品。該產品具有分辨率高、響應速度快、信號輸出簡單及響應光譜范圍寬等優(yōu)點,在精確光學排列傳感器、表面壓型、旋轉控制、角測量、距離傳感器、指導系統及位置監(jiān)測等領域具有重要的應用前景。
2. 位置靈敏度可簡單調控,最高達65mV/mm。
位置監(jiān)測、光電探測等領域。