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原子層沉積高性能納米透明防腐薄膜制備技術(shù)
原子層沉積（ALD）高性能納米透明防腐薄膜制備技術(shù)是中心自主開(kāi)發(fā)（ZL201610398336.7）的一種通過(guò)原子層循環(huán)沉積生長(zhǎng)納米薄膜的技術(shù)，該技術(shù)在貴重金屬的表面防腐上具有顯著優(yōu)勢(shì)。
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光電位置傳感器
基于硅基-氧化鋅功能性薄膜結(jié)構(gòu)的光電位置傳感器是由中心自主開(kāi)發(fā)（ZLCN201410614869.5等）的產(chǎn)品。該產(chǎn)品具有分辨率高、響應(yīng)速度快、信號(hào)輸出簡(jiǎn)單及響應(yīng)光譜范圍寬等優(yōu)點(diǎn)，在精確光學(xué)排列傳感器、表面壓型、旋轉(zhuǎn)控制、角測(cè)量、距離傳感器、指導(dǎo)系統(tǒng)及位置監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用前景。
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高性能半導(dǎo)體氣敏材料
高性能半導(dǎo)體氣敏材料是由中心團(tuán)隊(duì)開(kāi)發(fā)的具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品。金屬氧化物氣敏材料作為一種半導(dǎo)體氣敏材料在環(huán)境檢測(cè)等領(lǐng)域廣泛使用，中心選用氧化錫、氧化鋅、氧化鎢等氣敏材料，通過(guò)特定的晶體結(jié)構(gòu)的調(diào)控以及摻雜技術(shù)，制備的高性能半導(dǎo)體氣敏材料，對(duì)硫化氫、丙酮、一氧化碳等具有高靈敏度、高選擇性。
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高精度氣敏性能測(cè)試儀
高精度氣敏性能測(cè)試儀是由中心自主開(kāi)發(fā)（ZL201610953103.9等）的產(chǎn)品，該產(chǎn)品由數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)、控溫系統(tǒng)、探針調(diào)節(jié)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和配氣系統(tǒng)五大系統(tǒng)構(gòu)成，配套測(cè)試軟件可實(shí)現(xiàn)在線精準(zhǔn)控制測(cè)試的功能。該氣敏性能測(cè)試儀可用于對(duì)各種納米材料、薄膜/厚膜材料、粉體/粒子材料、體塊材料等進(jìn)行氣體傳感器氣敏性能分析測(cè)量。
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大尺寸原子層沉積設(shè)備
大尺寸原子層沉積系統(tǒng)是由中心自主研發(fā)（ZL201610314085.X等）的產(chǎn)品，可滿足12英寸（300 mm）硅片等批量加工需求以及大型零部件的納米薄膜加工需求。系統(tǒng)擁有5個(gè)可加熱液態(tài)源，可制備多種二元或三元復(fù)合納米薄膜，襯底溫度可加熱至400℃，滿足多種加工工藝需求，系統(tǒng)采用PLC全自動(dòng)控制，可長(zhǎng)期穩(wěn)定可靠連續(xù)使用。
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高精度有害氣體檢測(cè)器
高精度有害氣體檢測(cè)器是由中心團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)（ZL201610953103.9等）的產(chǎn)品，主要針對(duì)有害性氣體（一氧化碳、氮氧化合物等）在低濃度下的檢測(cè)，尤其是在20 ppm以下的精確檢測(cè)，能夠?qū)τ泻怏w進(jìn)行實(shí)時(shí)精確的監(jiān)控和數(shù)據(jù)分析。
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